如今 我們應(yīng)用廣泛的二手ICP-MS，涉及到很多半導(dǎo)體制成過(guò)程需要痕量雜質(zhì)分析需求，如何調(diào)諧和優(yōu)化 二手ICP-MS 儀器的狀態(tài)呢？

首先了解二手ICP-MS的工作原理，調(diào)諧的最終目的是：
1、獲得最好的靈敏度---信噪比來(lái)體現(xiàn)；
2、最大的消干擾---以質(zhì)荷比來(lái)體現(xiàn)。

（1）采樣深度

調(diào)這個(gè)參數(shù)分兩種情況：
1、難電離元素應(yīng)當(dāng)適當(dāng)增大采樣深度，即增加了難電離元素在等離子體中的路程，進(jìn)而延遲了難電離元素在ICP中電離的時(shí)間，使難電離元素得到充分電離，但是過(guò)度的延長(zhǎng)會(huì)增加二次電離的幾率，從而會(huì)形成雙電荷離子，因此單一看此參數(shù)的效果就和開(kāi)口向的拋物線(xiàn)是一樣的，需要我們找到一個(gè)最佳點(diǎn)；
2、易電離元素與之相反，應(yīng)當(dāng)適當(dāng)縮短采樣深度，但是同樣的如果過(guò)度縮短采樣深度會(huì)使該電離的元素未充分電離。

綜上既要得到最佳的目標(biāo)值，又要降低干擾，需要有一個(gè)指標(biāo)來(lái)確認(rèn)，這就是我們?yōu)槭裁匆凑{(diào)諧液各參數(shù)的信號(hào)值的原因。

（2）霧化氣

增大會(huì)增加進(jìn)樣量，元素的電離量也會(huì)增大，但同時(shí)干擾的離子也會(huì)增加；而且過(guò)大的流量會(huì)使等離子體溫度降低，進(jìn)而影響元素的電離率。所以需要尋找一個(gè)最佳點(diǎn)，因?yàn)榇藚?shù)對(duì)信號(hào)值的影響非常明顯，也是常調(diào)節(jié)的參數(shù)。

（3）霧化室溫度

來(lái)保證樣品在霧室內(nèi)形成很好的霧狀樣品，一般設(shè)置為2℃。

（4）透鏡

通過(guò)改變電壓，定向選擇目標(biāo)離子通過(guò)，進(jìn)入下一級(jí)系統(tǒng)。可以根據(jù)二手ICP-MS儀器實(shí)際的信號(hào)值做出相應(yīng)調(diào)整。

（5）碰撞池

二手ICP-MS儀器 使用的氣體一般是氦氣，因?yàn)楹獾牡谝浑婋x能比氬氣還大，更加穩(wěn)定，更不易電離，進(jìn)不用擔(dān)心再額外產(chǎn)生干擾離子。用氦氣去碰撞在前期等離子體中形成的多原子干擾離子，比如ArO+，將這種對(duì)Fe+產(chǎn)生干擾的且相對(duì)不穩(wěn)定的多原子離子撞開(kāi)，來(lái)消除干擾。但是必須要調(diào)節(jié)好流量，過(guò)高的流量也會(huì)將目標(biāo)離子撞飛，使大量目標(biāo)離子無(wú)法進(jìn)檢測(cè)器，從而會(huì)使信號(hào)值降到很低。