合作伙伴：河北某半導(dǎo)體材料公司

儀器類型：電感耦合等離子體質(zhì)譜儀

品牌：安捷倫

型號：ICPMS 7900S

2025年03月22日，河北某半導(dǎo)體材料公司購買我司安捷倫電感耦合等離子體質(zhì)譜儀ICPMS 7900S，配置氬氧裝置，氫氣碰撞裝置，有機進樣系統(tǒng)，全新鉑金錐，是高配中高配，安裝調(diào)試培訓(xùn)完畢，感謝客戶的支持與認可

安捷倫 ICP-MS 7900S 是一款高性能的單四極桿電感耦合等離子體質(zhì)譜儀，特別適用于半導(dǎo)體材料分析等高要求的應(yīng)用場景。

儀器特點

高基質(zhì)耐受性：7900S 具有出色的基質(zhì)耐受能力，其超穩(wěn)定的等離子體和可選的超高基質(zhì)進樣系統(tǒng)（UHMI）可處理高達 25% 總?cè)芙夤腆w（TDS）含量的樣品。

氦碰撞模式：配備高效的氦碰撞模式（KED），能夠有效消除多原子離子干擾，從而提高分析的準(zhǔn)確性和靈敏度。

寬動態(tài)范圍：具備 11 個數(shù)量級的線性動態(tài)范圍（0.1-10×10^10 cps），可在同一次運行中同時測定痕量與常量元素。

快速信號采集：最短駐留時間可達 0.1 ms，支持單納米顆粒（spICP-MS）分析。

靈活的配置：可輕松連接到多種外圍設(shè)備，如激光剝蝕系統(tǒng)、有機溶劑引入系統(tǒng)等。

配置選項

氬氧裝置：可用于等離子體氣、輔助氣和霧化氣等，確保等離子體的穩(wěn)定運行。

氫氣碰撞裝置：氫氣可作為碰撞/反應(yīng)池氣體，用于進一步消除干擾，提高特定元素的檢測靈敏度。

有機進樣系統(tǒng)：適用于有機溶劑樣品的分析，可有效減少樣品引入過程中的損失和污染。

半導(dǎo)體材料分析的應(yīng)用優(yōu)勢

高靈敏度：7900S 在整個質(zhì)量數(shù)范圍內(nèi)具有出色的靈敏度，能夠檢測到極低濃度的雜質(zhì)元素。

快速分析：快速信號采集和高效的碰撞/反應(yīng)池技術(shù)，使得分析速度更快，適合高通量的半導(dǎo)體材料檢測。

高純度化學(xué)品分析：結(jié)合 UHMI 和氦碰撞模式，能夠?qū)崿F(xiàn)高純度加工化學(xué)品的超痕量分析。

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體材料中的雜質(zhì)檢測：能夠檢測到半導(dǎo)體材料中痕量的金屬雜質(zhì)，如鐵、銅、鈉等。

高純度化學(xué)品分析：適用于分析用于半導(dǎo)體制造的高純度化學(xué)品，確保其純度符合要求。

納米顆粒分析：可用于檢測半導(dǎo)體材料中的納米顆粒，支持單納米顆粒（spICP-MS）分析。

安捷倫 ICP-MS 7900S 的這些特點和配置使其成為半導(dǎo)體材料分析的理想選擇。如果您有更多具體需求或問題，可以參考安捷倫文檔或聯(lián)系譜標(biāo)技術(shù)支持獲取進一步幫助。